相关媒体报导，ASML正在研发下一代EUV光刻机EXE:5000系列，主要合作伙伴为卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心。EXE:5000系列的下一代光刻机主要面向小于3nm的制程工艺，比如2nm或者1nm工艺。